PBN-PG-Heater-Element
高纯度、高性能热解氮化硼用作 PBN 加热元件的基材。通过 CVD 方法将热解石墨 (PG) 放置在 PBN 板的表面上,作为导体和加热器。
由于 PG 和 PBN 都非常纯净,并且在真空或惰性气体中非常稳定,因此 PBN-PG 加热元件非常耐用,并能保持腔体清洁。它可以在很短的时间内加热到1600°C,并且不会排放任何气体成分。这些加热元件是半导体行业和需要高温、高真空和高纯度应用的理想产品。
PBN/PG复合加热元件规格
尺寸 | 1″-4″ |
体积密度 | 2.15-2.19 g/cm3 |
最大工作温度 | 2400°C |
体积电阻率 (Ω·cm) | 3.11*1011 |
抗弯强度 (Mpa) | 243.63 |
热导率 (W/M·k) | 43.7-60 |
介电强度(室温)KV/mm | 56 |