INNOVACERA 提供定制耐火金属化氧化铝陶瓷，用于电网管、X 射线管、真空断路器以及需要具有出色强度和气密性的陶瓷-金属密封接头的类似应用。
陶瓷材料：
沉积方法：
钼基涂料涂层，然后镀镍，可以提供一个界面，陶瓷/金属部件可以通过钎焊形成，提供密封接头。烧结后，沉积一层厚度为 10-30 μm 的钼锰合金。金属化烧结工艺经过严格控制，以实现玻璃基质包围的钼颗粒的平衡混合，从而确保金属化层和陶瓷基质之间的高结合强度。
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随着半导体制造工艺向更高精度和集成度发展，用于蚀刻、薄膜沉积、等离子体清洗等工序的设备对长期稳定运行的要求日益提高。 在半导体等离子体设备中安装的陶瓷绝缘部件需在真空、高温、高频RF电场及反应性等离子体环境中持续运行，必须同时满足多项指标要…
