新闻

为什么真空吸盘要使用微孔陶瓷

微孔陶瓷真空吸盘

真空吸盘用于半导体电子芯片(如晶圆)的减薄、切割、清洗、搬运等工序。为什么要选择微孔陶瓷真空吸盘

1、晶圆抛光清洗过程中,抛光液、水雾进入工作台面,造成腐蚀。而微孔陶瓷真空吸盘具有抗腐蚀性能。

2、微孔陶瓷真空吸盘不像橡胶或其他材质的真空吸盘那样,没有光、热、电磁等环境污染。而橡胶或其他材质的真空吸盘会直接与物品表面接触,所以非常容易磨损。

因此,多孔陶瓷具有耐高温和耐化学腐蚀、结构轻、电绝缘等特点,是真空吸盘的最佳选择。

3、微孔陶瓷以其特殊的多孔结构,孔洞非常小,可以加工成非常精密的平面度。结合特殊的气道设计,当给予一定的负压时,晶圆可以平稳稳定地吸附在真空吸盘上,避免晶圆在表面造成划痕和凹痕。
通过真空吸盘的聚焦点和吸力的配合,可以将不同尺寸的晶圆吸附在同一陶瓷表面上。

4、微孔陶瓷真空吸盘经过重新研磨后可重复使用,从而提高材料的利用率。

检测视频:

相关文章

多孔陶瓷真空吸盘

Innovacera 提供多孔陶瓷吸盘台,主要用于在研磨和切割过程中支撑和吸持半导体晶圆。它应用于减薄、切割、清除、传送等工艺。 按应用分类的吸盘工作台: 减薄吸盘 切割吸盘 清洁吸盘 薄膜裸露吸盘 运输吸盘(背光吸盘) 研磨吸盘 热晶圆吸…

多孔陶瓷吸盘台

陶瓷吸盘台应用于硅片、半导体化合物晶圆、压电陶瓷、玻璃、LED、半导体封装元件基板、光学元件减薄、切割等领域。 主要应用领域: 全新和翻新多孔陶瓷吸盘,适用于 Disco、ADT、K&S、Applied Materials TSK、OKAM…

半导体设备用多孔陶瓷卡盘台

多孔陶瓷吸盘工作台是硅片加工等半导体设备中非常重要的部件。 多孔陶瓷真空吸盘广泛应用于硅片、半导体化合物晶圆、压电陶瓷、玻璃、LED、半导体封装元件基板、光学元件减薄、切割等设备中,是设备的重要组成部分。 其优势包括: 透气性强:均匀的透气…

返回