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氧化铝陶瓷零件

  • 电子发生器组件用陶瓷零件 Company

    Innovacera 最近正在研究和开发生产用于电子发生器组件的氧化铝陶瓷 (Al₂O₃)零件。   电子发生器组件是用于产生、控制和引导电子流的重要设备或部件。这些组件在半导体制造和各种高科技应用中至关重要。     陶瓷部件由于其出色的电绝缘性、热稳定性以及耐高温和腐蚀性,在电子发生器组件中起着至关重要的作用。以下是电子发生器组件中使用的一些关键陶瓷部件。   陶瓷绝缘体 陶瓷灯丝 陶瓷…

  • 注入机半导体工艺设备用电气绝缘氧化铝陶瓷零件 Company

    氧化铝陶瓷零件因其优异的电绝缘性能、高导热性和机械强度而被广泛应用于半导体工艺设备。在半导体制造中,氧化铝陶瓷零件在注入机设备中尤为重要。     注入机设备用于离子注入,这是半导体制造中的一项关键工艺,其中离子被加速并注入基板以改变其性能。   注入机中使用的氧化铝陶瓷部件包括绝缘体、晶圆和支撑结构,均设计用于承受离子注入工艺中典型的高温和腐蚀性环境:   陶瓷晶圆载体:在离子注入过程中固定和支撑晶圆…

  • 半导体行业光刻机用氧化铝陶瓷零件 Company

    氧化铝陶瓷零件用于光刻机的旋转部件,处于真空状态,对加工精度要求极高,要求内圆跳动在2微米以内。 精细陶瓷已成为半导体设备的关键零部件。特别是在高端光刻机上,为了达到较高的工艺精度,需要广泛使用功能复合性好、结构稳定性、热稳定性好、尺寸精度高的陶瓷部件。如E-chuck、Vacumm-chuck、Block、磁钢骨架水冷板、反射器、导轨等。 [caption id="attachment_26088" align="alignnone" width="381"] 光刻机用氧化铝陶瓷零…

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