氧化铝陶瓷零件用于光刻机的旋转部件，处于真空状态，对加工精度要求极高，要求内圆跳动在2微米以内。
精细陶瓷已成为半导体设备的关键零部件。特别是在高端光刻机上，为了达到较高的工艺精度，需要广泛使用功能复合性好、结构稳定性、热稳定性好、尺寸精度高的陶瓷部件。如E-chuck、Vacumm-chuck、Block、磁钢骨架水冷板、反射器、导轨等。
光刻机用氧化铝陶瓷零件机器
半导体行业使用的另一种高精度陶瓷零件 精密陶瓷已成为半导体设备的关键部件，包括单晶炉、离子注入设备、光刻机、CVD/PVD设备以及封装和测试设备。
Innovacera 可以提供所需的材料，包括氧化铝陶瓷、氮化铝陶瓷、氮化硅陶瓷、氮化硼//热解氮化硼陶瓷、碳化硅和微孔陶瓷。
半导体工业中使用的精细陶瓷
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