氧化铝陶瓷零件用于光刻机的旋转部件，处于真空状态，对加工精度要求极高，要求内圆跳动在2微米以内。
精细陶瓷已成为半导体设备的关键零部件。特别是在高端光刻机上，为了达到较高的工艺精度，需要广泛使用功能复合性好、结构稳定性、热稳定性好、尺寸精度高的陶瓷部件。如E-chuck、Vacumm-chuck、Block、磁钢骨架水冷板、反射器、导轨等。
光刻机用氧化铝陶瓷零件机器
半导体行业使用的另一种高精度陶瓷零件 精密陶瓷已成为半导体设备的关键部件，包括单晶炉、离子注入设备、光刻机、CVD/PVD设备以及封装和测试设备。
Innovacera 可以提供所需的材料，包括氧化铝陶瓷、氮化铝陶瓷、氮化硅陶瓷、氮化硼//热解氮化硼陶瓷、碳化硅和微孔陶瓷。
半导体工业中使用的精细陶瓷
Innovacera的四极杆质量过滤器（简称四极杆）是四极杆质谱仪的核心部件。它通常由四根平行的圆柱形或双曲面金属杆组成。施加两对电极：直流电压（DC，U）和射频电压（RF，V·cos(ωt)）。四极杆质量分析器基于离子在振荡电场中轨迹的稳定性来分离离子。
Innovacera 的陶瓷保险丝座经过精心设计，具有卓越的热稳定性、电气绝缘性和机械强度，是现代电动汽车保险丝系统中不可或缺的组件。这些保险丝座采用高纯度氧化铝陶瓷制造，可有效防止过电流和短路，确保电力和储能系统的安全性和高效性。凭借优异的耐热性、耐腐蚀性和高介电性能，它们在严苛的新能源和电气应用中能够提供长期耐用性和稳定的性能。
Innovacera 的氧化锆增韧氧化铝 (ZTA)基板结合了氧化锆的卓越强度和氧化铝的稳定性，具有优异的机械性能、高反射率和出色的抗热冲击性。这些基板外观呈致密的白色，表面光洁度极佳，可确保在中等功率电子和光学应用中可靠运行。其强大的韧性和精密加工能力使其成为中等功率电源模块、LED 照明系统和精密仪器的理想选择。
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