高导热性使氮化铝成为需要快速响应或高水平均匀温度的绝佳选择。AlN 是一种清洁、无污染的热源，其高导热性可防止开裂。
氮化铝陶瓷加热板 优点：
- 高温加热器，最高温度可达 1000°C
- 导热性和均匀性极佳。
- 坚硬、致密、无孔、高纯度基材。
- 卓越的防潮和耐化学性。
- 出色的尺寸和形状能力。
- 精确、可重复的图案和分布的瓦数。
| 产品 | ALN 加热器基材 |
| 材料 | 铝氮化铝 |
| 尺寸 | D120*8mm |
| 用途 | 半导体制造设备真空装置部件 |
| 说明 | 氮化铝具有高耐热性、高导热性、优异的热均衡性和电绝缘性。ALN加热器基板主要用于半导体制造装置，也可用于真空蒸发系统、溅射机和CVD装置。 |
氮化铝陶瓷加热板
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