为什么真空吸盘要使用微孔陶瓷

真空吸盘用于半导体电子芯片（如晶圆）的减薄、切割、清洗、搬运等工序。为什么要选择微孔陶瓷真空吸盘？

1、晶圆抛光清洗过程中，抛光液、水雾进入工作台面，造成腐蚀。而微孔陶瓷真空吸盘具有抗腐蚀性能。

2、微孔陶瓷真空吸盘不像橡胶或其他材质的真空吸盘那样，没有光、热、电磁等环境污染。而橡胶或其他材质的真空吸盘会直接与物品表面接触，所以非常容易磨损。

因此，多孔陶瓷具有耐高温和耐化学腐蚀、结构轻、电绝缘等特点，是真空吸盘的最佳选择。

3、微孔陶瓷以其特殊的多孔结构，孔洞非常小，可以加工成非常精密的平面度。结合特殊的气道设计，当给予一定的负压时，晶圆可以平稳稳定地吸附在真空吸盘上，避免晶圆在表面造成划痕和凹痕。
通过真空吸盘的聚焦点和吸力的配合，可以将不同尺寸的晶圆吸附在同一陶瓷表面上。

4、微孔陶瓷真空吸盘经过重新研磨后可重复使用，从而提高材料的利用率。

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