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氮化铝(AlN)基板

氮化铝 (AlN) 基板

氮化铝 (AlN) 晶体是一种以 [AIN4] 四面体为结构单元的共价键化合物,具有纤锌矿结构,属于六方晶系。

氮化铝 (AlN) 具有优异的绝缘性能和极高的导热性。此外,氮化铝还具有不易受到铝液、其他熔融金属以及砷化镓侵蚀的特性,尤其对熔融铝液具有优异的耐腐蚀性。

氮化铝衬底的优势

  • 极高的导热性
  • 与 Si、GaN 和 GaAs 半导体类似的低热膨胀性
  • 高介电强度

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