PBN 可在超高真空下加热至 2300°C 而不分解，具有纯度高，超过 99.99%，高温下不释放气体杂质等优良特性，这些特性使得 PBN 可以加工成各种形状。
热解氮化硼 (PBN) 因其高工作温度和真空特性，经常用于制作 MBE 设备中固定 Ta 丝的丝环。 INNOVACERA 可以根据尺寸进行定制，而灯丝环通常通过真空方式放在塑料袋中，并用厚泡沫保护。
氮化硼陶瓷如何满足先进CVD、PVD和MOCVD工艺的材料需求
随着半导体制造工艺不断向更高温度、更高纯度和更复杂的等离子体环境发展，设备内部材料的稳定性和洁净度正成为影响良率和设备寿命的关键因素。在此背景下，氮化硼 (BN) 和热解氮化硼 (PBN) 陶瓷材料的应用正逐渐从传统的耐高温部件扩展到整个工…
