窒化アルミナセラミックスよく使われる焼結方法
熱伝導率の高いAlNセラミックスを作製するためには、焼結工程で2つの問題を解決しなければならないです。一つは材料の緻密性を向上させることです。もう一つは熱伝導率の高い格子中の酸素原子の溶解をできるだけ避けることです。
常温焼結、一般的な焼結方法はいくつかある：
1、常圧焼結
2、熱間加圧焼結
3、高圧焼結
4、大気圧焼結
5、放電イオン焼結
6、マイクロ波焼結
今回のテーマはホットプレス窒化アルミナ：
窒化アルミナセラミックスの焼結温度を下げ、セラミックスの緻密化を促進するために、窒化アルミナセラミックスは、高熱伝導率緻密化AlNセラミックスを調製するための主要なプロセス方法の一つである熱間加圧焼結によって調製することができます。いわゆる熱間加圧焼結は、一定の圧力下でセラミックスを焼結することで、加熱焼結と加圧成形を同時に行うことができます。密度3.26g/cm3、熱伝導率200W/(m.K)のAlNセラミックス焼結体を、25MPa、1700℃の高圧で4時間焼成して作製しました。AlN格子の酸素含有量は0.49wt%であり、1800℃で8時間焼結したAlN焼結体(1.25wt%)に比べて60%以上低く、熱伝導率が向上しました。
厦门英诺华（イノファ）新材料有限公司
当社は、窒化アルミナセラミック材料用の高度な生産ラインと高精度の加工能力を有しています。現在、当社は6～12インチのさまざまなサイズの窒化アルミナセラミックウェハーと、直径320mm、厚さ26mmを超える大型窒化アルミナセラミックプレートの生産が可能です。これらの大型ALNセラミックウェハは、高熱伝導性窒化アルミナヒーティングパッドの製造に使用できます。
