用于电子束蒸发的热解石墨涂层 PBN 坩埚

热解石墨涂层PBN（热解氮化硼）坩埚是指由PBN材料制成的坩埚，其表面涂有热解石墨涂层。热解石墨涂层坩埚的纯度在99.99%以上，气密性好，具有耐高温、化学稳定性好、抗热震性好、导热性好、热膨胀系数小、耐酸、碱、盐、有机试剂腐蚀等特点，使用寿命长。

通过在 PBN 坩埚上涂覆一层热解石墨，可以实现多种优势：
1.增强导热性：热解石墨涂层可提高 PBN 坩埚的导热性，从而实现高温工艺过程中的有效传热。
2.耐化学性：PBN 材料已经表现出卓越的化学惰性，而额外的热解石墨涂层进一步增强了其对腐蚀性物质的抵抗力，确保了坩埚的更高耐用性和使用寿命。
3.非润湿性：热解石墨具有非润湿表面，这意味着它排斥液体，不会吸收液体。此特性可防止熔融材料粘附在坩埚上，便于轻松清除并防止污染。
4.电绝缘：PBN 本身是一种出色的电绝缘体，而热解石墨涂层可保持坩埚的绝缘性能。此特性在需要电隔离的电气和电子应用中非常有用。
5.降低热应力：PBN 和热解石墨的结合有助于降低温度变化引起的热应力，延长坩埚的使用寿命。
热解石墨涂层 PBN 坩埚通常用于高温应用，例如半导体制造、晶体生长、冶金工艺和材料研究，其中高热稳定性和耐化学性都至关重要。