热解氮化硼 (PBN) 产品的纯度极高，气态原料的纯度更容易控制。通常，PBN 产品的总杂质含量<100 ppm，这意味着纯度不低于 99.99%。这种高纯度 PBN 产品非常适合半导体行业和真空系统。
分子束外延（MBE）是当今世界最重要的III-V族和II-VI族半导体晶体外延生长工艺之一，是在适当的衬底和条件下，沿衬底材料晶轴方向逐层生长薄膜的方法。
PBN坩埚是MBE工艺中蒸发元素和化合物的最佳容器。
以下是MBE技术的示意图。
注意：
分子束外延（MBE）是在超高真空条件下，将组成晶体的各组分及掺杂原子（分子）按一定比例，以一定的热运动速度喷射到热基片表面，生长晶体的技术。
我们提供定制PBN坩埚和VGF/LEC/锥形/MBE/OLED坩埚。
随着半导体制造工艺不断向更高温度、更高纯度和更复杂的等离子体环境发展，设备内部材料的稳定性和洁净度正成为影响良率和设备寿命的关键因素。在此背景下，氮化硼 (BN) 和热解氮化硼 (PBN) 陶瓷材料的应用正逐渐从传统的耐高温部件扩展到整个工…
PBN 是要求高温高纯度应用的理想选择。PBN 是一种采用 CVD 工艺生长的超纯氮化硼固体。该材料无毒、无孔，具有优异的抗热震性和良好的导热性。 应用领域 MBE 坩埚 MBE 家具 真空炉保温 电绝缘体 LEC、VGF 坩埚 相扑坩埚 …
PBN板可用作绝缘垫、垫片、支架等材料，广泛应用于真空、高温和分子束外延（MBE）设备领域。 热解氮化硼（PBN）是一种白色固体材料，无孔且无毒。氮化硼可以通过压制或烧结方法成型，而高纯度的PBN产品则采用1800℃高温、极低压的气相沉积工…
