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BN坩埚

  • 氮化硼坩埚应用-电子束蒸发 Company

    在半导体制造中,氮化硼可用作蚀刻剂和薄膜沉积原料,起到保护层的作用,防止器件损坏或污染。   此外,氮化硼还可作为电子束蒸发源材料用于制备各种薄膜材料。   例如:电子束蒸发镀膜导电氮化硼坩埚(BN坩埚) – 用于薄膜沉积设备。   导电氮化硼坩埚是专为电子束蒸发镀膜设计的高纯度光滑坩埚。   具有优异的耐高温和热循环性能,不会与各种金属和陶瓷稀土发生反应。   即使在快速加热和冷却条件…

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