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氮化硼坩埚应用-电子束蒸发 Company
在半导体制造中,氮化硼可用作蚀刻剂和薄膜沉积原料,起到保护层的作用,防止器件损坏或污染。 此外,氮化硼还可作为电子束蒸发源材料用于制备各种薄膜材料。 例如:电子束蒸发镀膜导电氮化硼坩埚(BN坩埚) – 用于薄膜沉积设备。 导电氮化硼坩埚是专为电子束蒸发镀膜设计的高纯度光滑坩埚。 具有优异的耐高温和热循环性能,不会与各种金属和陶瓷稀土发生反应。 即使在快速加热和冷却条件…
在半导体制造中,氮化硼可用作蚀刻剂和薄膜沉积原料,起到保护层的作用,防止器件损坏或污染。 此外,氮化硼还可作为电子束蒸发源材料用于制备各种薄膜材料。 例如:电子束蒸发镀膜导电氮化硼坩埚(BN坩埚) – 用于薄膜沉积设备。 导电氮化硼坩埚是专为电子束蒸发镀膜设计的高纯度光滑坩埚。 具有优异的耐高温和热循环性能,不会与各种金属和陶瓷稀土发生反应。 即使在快速加热和冷却条件…