高耐性工艺级氮化铝 (AlN)是许多半导体设备和应用的理想材料。
Innovacera 设计氮化铝 (AlN) 喷嘴，以实现精确的气体流速和均匀的控制，从而将气体均匀地分散到蚀刻工艺室中。这些组件需要具有高等离子体抗性、介电强度以及对工艺气体和副产品的强耐腐蚀性。
| 氮化铝材料特性 | ||||
| 特性 | INC-AN180 | INC-AN200 | INC-AN220 | |
| 颜色 | 灰色 | 灰色 | 米色 | |
| 主页内容 | 96%ALN | 96%ALN | 97%ALN | |
| 主要特性 | 高导热性、优异的耐等离子性 | |||
| 主要用途 | 散热零件、耐等离子性零件 | |||
| 散装密度 | 3.30 | 3.30 | 3.28 | |
| 吸水率 | 0.00 | 0.00 | ||
| 维氏硬度（负载 500g） | 10.00 | 9.50 | 9.00 | |
| 抗弯强度 | >=350 | >=325 | >=280 | |
| 抗压强度 | 2,500.00 | 2,500.00 | – | |
| 杨氏弹性模量 | 320.00 | 320.00 | 320.00 | |
| 泊松比 | 0.24 | 0.24 | ||
| 断裂韧性 | – | – | – | |
| 线性热膨胀系数 | 40-400 摄氏度 | 4.80 | 4.60 | 4.50 |
| 热导率 | 20 摄氏度 | 180.00 | 200.00 | 220.00 |
| 比热 | 0.74 | 0.74 | 0.76 | |
| 抗热震性 | – | – | – | |
| 体积电阻率 | 20 度摄氏度 | =10-14 | =10-14 | =10-13 |
| 介电强度 | =15 | =15 | =15 | |
| 介电常数 | 1MHz | 9.00 | 8.80 | 8.60 |
| 损耗角正切 | *10-4 | 5.00 | 5.00 | 6.00 |
| 备注：该值仅供参考，不同的使用条件会略有不同。 | ||||
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等离子蚀刻设备的氮化铝 (AlN) 喷嘴
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