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定制陶瓷产品-热解氮化硼蒸发坩埚

热解氮化硼(PBN)属于六方晶系,是一种纯度高达99.999%的先进陶瓷材料。它由氨和硼卤化物在高温和高真空条件下通过化学气相沉积(CVD)形成。它不仅可以制成PBN片材,还可以制成坩埚、舟皿和涂层等PBN最终产品。

热解氮化硼蒸发坩埚

主要特点
与普通热压氮化硼(BN)不同,它不需要经过传统的热压烧结工艺,也不添加任何烧结剂,因此得到的产品具有以下显著特点:

  • 无毒无味;
  • 纯度高,达到99.999%以上;
  • 它不常温下与酸、碱、盐、有机试剂发生反应,在熔盐、碱液中腐蚀轻微,但在高温下能耐各种酸的腐蚀;
  • 与大多数熔融金属、半导体及其化合物不发生反应;
  • 1000℃以下,抗氧化性能好;
  • 抗热震性好,2000℃水中无裂纹;
  • 使用温度高,无升华点,3000℃以上直接分解为B和N;
  • 电阻率高,电绝缘性能好;
  • 表面光滑,无气孔,与大多数半导体熔体不润湿

应用领域

  • OLED蒸发舟
  • 半导体单晶生长(VGF、LEC)坩埚
  • 分子束外延(MBE)、蒸发坩埚
  • MOCVD加热器
  • 多晶合成舟
  • PBN红外窗口
  • 卫星通信微波管
  • PBN涂层载板
  • 高温、高真空设备绝缘板

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