热解氮化硼(PBN)属于六方晶系,是一种纯度高达99.999%的先进陶瓷材料。它由氨和硼卤化物在高温和高真空条件下通过化学气相沉积(CVD)形成。它不仅可以制成PBN片材,还可以制成坩埚、舟皿和涂层等PBN最终产品。
主要特点
与普通热压氮化硼(BN)不同,它不需要经过传统的热压烧结工艺,也不添加任何烧结剂,因此得到的产品具有以下显著特点:
- 无毒无味;
- 纯度高,达到99.999%以上;
- 它不常温下与酸、碱、盐、有机试剂发生反应,在熔盐、碱液中腐蚀轻微,但在高温下能耐各种酸的腐蚀;
- 与大多数熔融金属、半导体及其化合物不发生反应;
- 1000℃以下,抗氧化性能好;
- 抗热震性好,2000℃水中无裂纹;
- 使用温度高,无升华点,3000℃以上直接分解为B和N;
- 电阻率高,电绝缘性能好;
- 表面光滑,无气孔,与大多数半导体熔体不润湿
应用领域
- OLED蒸发舟
- 半导体单晶生长(VGF、LEC)坩埚
- 分子束外延(MBE)、蒸发坩埚
- MOCVD加热器
- 多晶合成舟
- PBN红外窗口
- 卫星通信微波管
- PBN涂层载板
- 高温、高真空设备绝缘板