很高兴与大家分享我们最新推出的产品-最薄厚度0.75mm的热压氮化铝盖板加热器热压氮化铝盖板加热器,可以说,国内首次生产出高难度的热压氮化铝圆片。由于以下原因,制造起来很困难:
1.由于硬度高且易碎,该材料很难加工,因此在处理或加工时很容易出现碎屑或划痕,从而导致废品率很高。无论如何,这是一个成功的开始,我们相信我们可以做得越来越好。
2.热压氮化铝陶瓷采用真空热压烧结,烧结过程比无压烧结更困难。氮化铝纯度高达99.5%(不含任何烧结助剂),热压后密度可达3.3g/cm3,具有优良的导热性和高电绝缘性,导热系数可达90W/(m·k)~210W/(m·k)。
3.最薄处厚度约0.75mm,这也增加了加工难度。
热压氮化铝盖板加热器的应用:
半导体用盖板加热器
其他应用:
– 盖板和MRI设备(磁共振成像)
– 高功率探测器、等离子发生器、军用无线电
– 半导体和集成电路的静电吸盘和加热板
– 红外和微波窗口材料
特点:
高导热性
膨胀系数可与半导体硅片匹配
高绝缘电阻和耐压强度
低介电常数恒定且低介电损耗
高机械强度
典型规格:
纯度: | >99% |
密度: | >3.3 g/cm3 |
抗压强度: | >3,350MPa |
弯曲强度: | 380MPa |
热电导率: | |
热膨胀系数: | 5.0 x 10-6/K |
最大温度: | 1,800°C |
体积电阻率: | 7×1012 Ω·cm |
介电强度: | 15 kV/mm |