technical ceramic solutions

热压氮化铝盖板加热器

很高兴与大家分享我们最新推出的产品-最薄厚度0.75mm的热压氮化铝盖板加热器热压氮化铝盖板加热器,可以说,国内首次生产出高难度的热压氮化铝圆片。由于以下原因,制造起来很困难:

用于高功率探测器的热压 ALN 板

1.由于硬度高且易碎,该材料很难加工,因此在处理或加工时很容易出现碎屑或划痕,从而导致废品率很高。无论如何,这是一个成功的开始,我们相信我们可以做得越来越好。

2.热压氮化铝陶瓷采用真空热压烧结,烧结过程比无压烧结更困难。氮化铝纯度高达99.5%(不含任何烧结助剂),热压后密度可达3.3g/cm3,具有优良的导热性和高电绝缘性,导热系数可达90W/(m·k)~210W/(m·k)。

3.最薄处厚度约0.75mm,这也增加了加工难度。

用于MRI设备的热压ALN板

热压氮化铝盖板加热器的应用:
半导体用盖板加热器

其他应用:
– 盖板和MRI设备(磁共振成像)
– 高功率探测器、等离子发生器、军用无线电
– 半导体和集成电路的静电吸盘和加热板
– 红外和微波窗口材料

特点:

高导热性
膨胀系数可与半导体硅片匹配
高绝缘电阻和耐压强度
低介电常数恒定且低介电损耗
高机械强度

典型规格:

纯度: >99%
密度: >3.3 g/cm3
抗压强度: >3,350MPa
弯曲强度: 380MPa
热电导率:
热膨胀系数: 5.0 x 10-6/K
最大温度: 1,800°C
体积电阻率: 7×1012 Ω·cm
介电强度: 15 kV/mm

Related Products

  • Metallised Ceramic Rings for Image Intensifier Tubes

    图像增强管用金属化陶瓷环

    Innovacera 的金属化陶瓷环用于夜视设备和其他仪器的图像增强管。

  • Alumina Ceramic Focus Rings

    氧化铝陶瓷聚焦环

    氧化铝陶瓷聚焦环旨在改善晶圆边缘或周边的蚀刻均匀性。与静电吸盘 (e-chuck) 配合使用时,晶圆将放置在边缘聚焦环上,并由静电电荷固定。

  • BMA Boron Nitride Atomization Nozzles

    BMA氮化硼雾化喷嘴

    Innovacera (英诺华)的 BMA 氮化硼复合喷嘴在熔融金属雾化中具有卓越的精度和可靠性,因此 Innovacera BMA 氮化硼喷嘴可实现熔融金属的精确雾化。通过氧化锆增强,它们具有出色的耐磨性和非润湿性,可承受直接接触金属的极端温度。

发送询盘