technical ceramic solutions

INNOVACERA(英诺华)的PBN材料

热解氮化硼坩埚

PBN 的纯度为 99.99%,属于六方氮化硼等级。它通过化学气相沉积工艺制成固体,所有氮化硼晶体都平行于蒸汽沉积的表面生长。CVD 工艺使这种热解氮化硼具有近乎完美的层状结构,从而导致各向异性的热导率,使其成为制造晶体生长坩埚的理想材料。

主要特点
1. PBN颜色介于乳白色和橙棕色之间,无毒、无气孔,易加工。
2. 纯度高达99.99%,表面致密,阻气性好。
3. 强度随温度升高而增加,在2200℃时达到最大值。
4. 耐酸、碱、盐和有机试剂。同时,它不与大多数熔融金属和半导体材料发生反应。
5. 抗热震性好,热导率高,热膨胀系数小。
6. 电阻率高,介电强度高,介电常数低,损耗因数低,微波和红外线性能好
7. 具有力学、热学和电学各向异性。

属性

属性 单位
晶格常数 μm a: 2.504 x 10^-10   c: 6.692 x 10^-10
密度 g/cm3 2.10-2.15 (PBN 坩埚);2.15-2.19(PBN 板)
显微硬度(努氏硬度)(ab 侧) N/mm2 691.88
电阻率 Ω*cm 3.11 x 10^11
抗拉强度 N/mm2 153.86
弯曲强度 ⊥C N/mm2 243.63
⊥C N/mm2 197.76
弹性模量 N/mm2 235690
热导率 W/m*k “a”方向  “c”方向
200℃ W/m*k 60            2.60
900℃ W/m*k 43.7           2.8
介电强度(室温) KV/mm 56

主要应用
* 晶体生长(VGF、LEC 坩埚)
* 分子束外延 (MBE) 坩埚
* 多晶合成舟
* OLED 和 MBE 扩散室
* MOCVD 加热器
* PBN 红外窗口
*行波管 (TWT)(PBN 支撑棒)
* 高温、真空设备绝缘体

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