半导体设备用多孔陶瓷卡盘台

多孔陶瓷吸盘工作台是硅片加工等半导体设备中非常重要的部件。

多孔陶瓷真空吸盘广泛应用于硅片、半导体化合物晶圆、压电陶瓷、玻璃、LED、半导体封装元件基板、光学元件减薄、切割等设备中，是设备的重要组成部分。

其优势包括：

• 透气性强：均匀的透气性和透水性，确保硅片受力均匀、吸附牢固，使其在研磨过程中不会打滑。
• 结构致密均匀：由于采用致密均匀的微孔陶瓷，卡盘台面不易吸附硅粉磨料，且易于清洁。
• 强度高：研磨过程中不变形，确保硅片在研磨过程中各点受力均匀，不易出现边部破损和碎屑。
• 使用寿命长：面形好，修整周期长，修整量少，使用寿命长。
• 易于修复：加工过程中不会出现裂纹、缺损、脱粒现象。