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新闻动态

  • 氮化硼坩埚应用-电子束蒸发 Company

    在半导体制造中,氮化硼可用作蚀刻剂和薄膜沉积原料,起到保护层的作用,防止器件损坏或污染。   此外,氮化硼还可作为电子束蒸发源材料用于制备各种薄膜材料。   例如:电子束蒸发镀膜导电氮化硼坩埚(BN坩埚) – 用于薄膜沉积设备。   导电氮化硼坩埚是专为电子束蒸发镀膜设计的高纯度光滑坩埚。   具有优异的耐高温和热循环性能,不会与各种金属和陶瓷稀土发生反应。   即使在快速加热和冷却条件…

  • 陶瓷螺丝刀半导体制造专用工具 Company

    陶瓷螺丝刀是专门为调整和对准敏感电子设备中的元件而设计的工具。陶瓷对准螺丝刀由氧化铝陶瓷 (Al₂O₃)和氧化锆陶瓷等优质陶瓷材料制成,具有多种优点。     陶瓷材料具有防静电、无磁性、无电感和耐腐蚀等特点。   氧化锆陶瓷可以承受高温,因此这些螺丝刀适合在需要热量的环境中使用。     陶瓷螺丝刀性能: 技术参数 技术项目 主要含量 Zro2 …

  • 电子发生器组件用陶瓷零件 Company

    Innovacera 最近正在研究和开发生产用于电子发生器组件的氧化铝陶瓷 (Al₂O₃)零件。   电子发生器组件是用于产生、控制和引导电子流的重要设备或部件。这些组件在半导体制造和各种高科技应用中至关重要。     陶瓷部件由于其出色的电绝缘性、热稳定性以及耐高温和腐蚀性,在电子发生器组件中起着至关重要的作用。以下是电子发生器组件中使用的一些关键陶瓷部件。   陶瓷绝缘体 陶瓷灯丝 陶瓷…

  • 注入机半导体工艺设备用电气绝缘氧化铝陶瓷零件 Company

    氧化铝陶瓷零件因其优异的电绝缘性能、高导热性和机械强度而被广泛应用于半导体工艺设备。在半导体制造中,氧化铝陶瓷零件在注入机设备中尤为重要。     注入机设备用于离子注入,这是半导体制造中的一项关键工艺,其中离子被加速并注入基板以改变其性能。   注入机中使用的氧化铝陶瓷部件包括绝缘体、晶圆和支撑结构,均设计用于承受离子注入工艺中典型的高温和腐蚀性环境:   陶瓷晶圆载体:在离子注入过程中固定和支撑晶圆…

  • 离子源用氮化铝/氮化硼复合BN-AlN陶瓷部件 Company

    BN-AlN陶瓷是由氮化硼(BN)和氮化铝(AIN)粉末烧结而成。它具有优异的电绝缘性、热导率、高强度、抗热冲击性以及对卤素气体等离子体的强抵抗性,因此具有广泛的应用范围,包括半导体生产设备的组件和需要有效散热的组件。   离子源是一种在真空室中产生原子和分子离子的装置。氮化铝/氮化硼复合材料具有优异的电绝缘性、热导率、对真空的密封能力,并且不会释放出太多气体。因此它在离子源中起着散热器和传热板的作用。     材料优势: …

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