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AIN晶圆 – 最受欢迎的陶瓷基板之一

氮化铝陶瓷基板

INNOVACERA 提供AlN 陶瓷基板。AlN 基板是最受欢迎的陶瓷基板之一,具有优异的耐热性、高机械强度、耐磨性和较小的介电损耗。AlN 基板的表面非常光滑,孔隙率低。氮化铝具有更高的热导率,与氧化铝基板相比,大约高 7 到 8 倍。AlN 基板是一种出色的电子封装材料。

INNOVACERA 提供适用于各种应用的 AlN 基板,包括薄膜和厚膜微电子、高功率和高频电路射频/微波元件以及电容器或电阻器,请联系我们获取更多陶瓷晶片产品信息。

AlN 晶圆特性:

化学式 AlN
颜色 灰色
密度 3.3 g/cm3
热导率 160 ~ 190 W/m.K
热膨胀 (x10 -6/°C) 2-3.5
介电常数强度 ≥17KV/MM
介电常数(1MHZ 时) 8-10
损耗角正切(x10 -4 @1MHZ) 2.0
体积电阻率 ≥10^14 ohm-cm

AlN 晶圆特性:

直径 Ø 16 / Ø 20 / Ø 30 / Ø40 / Ø 50 / Ø 60 / Ø 75 / Ø 80
方形尺寸 2″x 2″ / 3″ x 3″ / 4″ x 4″ / 4.5″ x 4.5″
厚度 0.385 mm / 0.5 mm /0.635mm/ 1 mm
表面 烧成状态
单面抛光 / 双面抛光
粗糙度 Ra 0.3-0.5 um

声明:此篇为INNOVACERA®原创文章,转载请标明出处链接:https://www.innovacera.com/zh-hans/news-zh-hans/aln-wafer-one-of-the-most-popular-ceramic-substrate.html

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