INNOVACERA 提供AlN 陶瓷基板。AlN 基板是最受欢迎的陶瓷基板之一,具有优异的耐热性、高机械强度、耐磨性和较小的介电损耗。AlN 基板的表面非常光滑,孔隙率低。氮化铝具有更高的热导率,与氧化铝基板相比,大约高 7 到 8 倍。AlN 基板是一种出色的电子封装材料。
INNOVACERA 提供适用于各种应用的 AlN 基板,包括薄膜和厚膜微电子、高功率和高频电路射频/微波元件以及电容器或电阻器,请联系我们获取更多陶瓷晶片产品信息。
AlN 晶圆特性:
化学式 | AlN |
颜色 | 灰色 |
密度 | 3.3 g/cm3 |
热导率 | 160 ~ 190 W/m.K |
热膨胀 (x10 -6/°C) | 2-3.5 |
介电常数强度 | ≥17KV/MM |
介电常数(1MHZ 时) | 8-10 |
损耗角正切(x10 -4 @1MHZ) | 2.0 |
体积电阻率 | ≥10^14 ohm-cm |
AlN 晶圆特性:
直径 | Ø 16 / Ø 20 / Ø 30 / Ø40 / Ø 50 / Ø 60 / Ø 75 / Ø 80 |
方形尺寸 | 2″x 2″ / 3″ x 3″ / 4″ x 4″ / 4.5″ x 4.5″ |
厚度 | 0.385 mm / 0.5 mm /0.635mm/ 1 mm |
表面 | 烧成状态 |
单面抛光 / 双面抛光 | |
粗糙度 | Ra 0.3-0.5 um |