热解氮化硼（PBN）是一种先进的陶瓷，热解氮化硼PBN圆盘和其他热解氮化硼产品采用化学气相沉积（CVD）工艺在模具上合成，使用BCl3和NH3在高温低压下进行。PBN产品非常纯净，因为气体材料的纯度更容易控制。通常，PBN产品的总杂质含量小于100 ppm，这意味着纯度不低于99.99％。它是窗口的理想材料。
真空微波设备的领先制造商使用氧化铝和氧化铍陶瓷作为输入输出窗口屏障的主要材料。目前，氮化铝被认为是这些传统材料的可能替代品。同时，众所周知的热解氮化硼 (PBN) 似乎是一种被大部分 ED 开发人员低估的材料。热解氮化硼板作为高功率微波电子设备的窗口材料。
用于 RF 真空窗口的热解氮化硼板
Innovacera 的氧化锆增韧氧化铝 (ZTA)基板结合了氧化锆的卓越强度和氧化铝的稳定性，具有优异的机械性能、高反射率和出色的抗热冲击性。这些基板外观呈致密的白色，表面光洁度极佳，可确保在中等功率电子和光学应用中可靠运行。其强大的韧性和精密加工能力使其成为中等功率电源模块、LED 照明系统和精密仪器的理想选择。
Innovacera 的氮化硅 (Si₃N₄)衬底兼具卓越的导热性、高机械强度和优异的断裂韧性，为高功率电子和热管理应用提供了出色的可靠性。这些衬底的热膨胀系数与硅非常接近，并具有优异的抗热冲击性能，即使在极端条件下也能保持稳定的性能。其精密加工的表面和可定制的规格使其成为 IGBT 功率模块、大功率散热器和先进无线模块的理想之选。
Innovacera 的氮化铝 (AlN) 衬底具有卓越的导热性、与硅高度匹配的热膨胀系数以及优异的电绝缘性，是高功率电子应用的理想之选。凭借卓越的机械强度、高击穿电压和出色的抗热冲击性，AlN 衬底确保在严苛环境下也能可靠运行。其精密加工能力和可定制规格使其非常适合用于 IGBT 功率模块、大功率 LED 和先进散热组件。
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