热解氮化硼（PBN）是一种先进的陶瓷，热解氮化硼PBN圆盘和其他热解氮化硼产品采用化学气相沉积（CVD）工艺在模具上合成，使用BCl3和NH3在高温低压下进行。PBN产品非常纯净，因为气体材料的纯度更容易控制。通常，PBN产品的总杂质含量小于100 ppm，这意味着纯度不低于99.99％。它是窗口的理想材料。
真空微波设备的领先制造商使用氧化铝和氧化铍陶瓷作为输入输出窗口屏障的主要材料。目前，氮化铝被认为是这些传统材料的可能替代品。同时，众所周知的热解氮化硼 (PBN) 似乎是一种被大部分 ED 开发人员低估的材料。热解氮化硼板作为高功率微波电子设备的窗口材料。
用于 RF 真空窗口的热解氮化硼板
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