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PBN 加热器的工作原理是什么?

  1. 什么是PBN加热器?

PBN材料是指通过CVD高温沉积得到的热解氮化硼材料。BN是指立方氮化硼,通过热压获得。

由于获取工艺不同,PBN零件常见厚度小于或等于3mm。

PBN加热器是指在PBN基体上沉积一层薄石墨,通过机械加工(激光雕刻)形成石墨带而形成的石墨加热器。

最后在石墨层上覆盖一层PBN覆盖层(露出电极部分),成为完整的石墨加热器。

 

  1. 加工方式有几种?

一般有两种方式:

第一种:PBN片制作好槽,然后涂上热解石墨,再加一层PBN涂层(在pbn片刻好电路后,在电路上沉积热解石墨,然后在pg表面再沉积一层pbn),厚度约mm,电压电流,再加一层石墨。

厚度约3mm左右,电压电流根据客户而定,但要低电压大电流,加热快。

第二种:石墨制作好槽,然后在槽的两面涂上PBN,但石墨作为加热装置,通过交流电加热,会产生磁共振,PBN涂层容易脱落,所以不推荐这种方式制作。

所以这种方式生产不推荐,一般按照第一种方式生产。

 

因此可以看出基体和绝缘覆盖层都是PBN,发热体是石墨带。

 

  1. 为什么要这样生产呢?

石墨或热解石墨表面包覆涂层,石墨在加热领域应用广泛,但石墨在真空和高温条件下会不断析出杂质,从而会污染超纯材料,利用氮化硼无孔、热膨胀系数低的优点在石墨外层包覆PBN,这样可以阻挡石墨析出的杂质,保护超纯材料不被污染。包覆后的石墨经过多次加热,表面氮化硼层不易剥落。

 

  1. 优点:

PBN加热垫具有化学稳定性、耐腐蚀等优点,一般最高样品加热温度在1200℃左右,可在E-5mbar氧气气氛下工作。

工作时需要注意避免因较大的快速温升和降而导致PBN覆盖层与石墨层脱离,还要注意保证电极的良好电接触,避免接触处过热,损坏电极。

 

  1. 总结性能特点:

-真空中最高温度 1650℃

-空气中最高温度 300 ℃(不推荐)

-高真空、超高压、腐蚀性环境

-升温速率非常快,质量非常低

-非常惰性

-PG 元件封装在 PBN 中,完全不受沉积产物的影响

-样品可直接放置在加热的陶瓷元件板上

-尺寸最大可达 4 英寸方形或圆形

 

PBN 加热器

 

如果如果您需要任何帮助或更大的加热器尺寸,请立即联系我们的技术销售团队。注意:可以定制。

电子邮件:sales@innovacera.com

电话:0086 0592 5589730


用于质谱仪的 MCH 加热器

质谱仪是一种通过根据气态离子的质荷比在电磁场中排列它们来分析和识别化学物质的技术。

 

质谱仪可以检测每个钻孔中的大多数分析物,因此必须有一个无污染的热源。此外,仪器设计在减小尺寸和复杂性的同时提高灵敏度的竞争要求也受到了挑战。

 

质谱仪加热元件,也称为源加热器或气体管线加热器,用于质谱仪将样品(通常在水溶液或有机溶液中)转化为蒸汽以供分析。在分析仪和检测器区域之前,加热器是样品调节系统的一部分,蒸发的样品随后被电离的高能电子轰击并进行分析。

 

质谱仪中使用的加热器设计紧凑,可提供相当高的功率密度。它们反应迅速,工作温度高达 400 °C。它们包括内部温度传感器,可实现精确控制和限制。

 

INNOVACERA 优势

 

  • 新设计的工程支持
  • 快速原型设计
  • 更换零件

 

Innovacera 为各种质谱仪制造商和型号制造 OEM 和更换加热器。

 

用于质谱仪的MCH加热器

 

MCH加热器的优点

 

MCH陶瓷加热元件高效、环保、节能。陶瓷加热元件,主要用于替代目前应用最为广泛的合金丝加热元件和PTC加热元件及部件。

 

技术特点:

  • 节能、热效率高,单位热功耗比PTC减少20-30%;
  • 表面安全不带电,绝缘性能好,可耐4500V/1S电压试验,不击穿,漏电流<0.5mA;
  • 无脉冲峰值电流;无功率衰减;升温迅速;安全,无明火;
  • 热均匀性好,功率密度高,使用寿命长。

 

结论

 

MCH加热器通过提供紧凑的设计、快速升温、精确的温度控制和节能,彻底改变了性能。这些先进的加热元件使质谱仪拥有无污染的热源,更高的准确性和有效性。

 

如果您对 MCH 加热器有任何疑问,欢迎通过 sales@innovacera.com 联系我们。


用于四极杆质谱的四极杆陶瓷环

Innovacera 拥有超过 10 年的技术陶瓷解决方案制造经验,专注于四极杆质谱陶瓷组件,例如陶瓷绝缘体组件、陶瓷环、陶瓷方框、陶瓷鞍座;陶瓷棒、陶瓷灯丝支架、陶瓷孔板、陶瓷加热器等。

 

QMS 四极杆质谱广泛用于分析技术,其中离子在通过四极杆场时根据其质荷比 (m/z) 进行过滤。四极杆由一组四个特定长度的电极组成,呈径向阵列,如照片所示。这些陶瓷绝缘体组件可用于施乐扫描质谱仪器。

用于四极杆质谱的四极杆陶瓷项圈

 

我们可以支持客户制造少量陶瓷绝缘体组件,用于客户设计的四极杆质量过滤器的校样和原型阶段,可提供定制的陶瓷材料和设计。标准项圈由 99.5% 氧化铝陶瓷制成,尺寸为 36.4*36.4*12mm,电极棒由钼材料制成。

套环也可以制成圆形或其他定制设计,只需将您的图纸发送给我们,我们就可以为您制作。

 

Innovacera 提供各种材料来解决塑料和金属失效的问题。陶瓷是提供分析仪器所需的机械、电气、热和其他性能的理想材料。由 99.5% 氧化铝和 95% 陶瓷等材料制成的金属密封组件解决了塑料和金属失效的问题。

 

 

以下是 99.5 氧化铝陶瓷材料性能供您参考:

 

99.5氧化铝陶瓷材料特性
特性
主要成分 Al2O3>99.6%
密度 >3.95
硬度(Gpa) 15~16
室温电阻率(Ω·cm) >10 14
最高使用温度(℃) 900.00
三点弯曲强度(MPA) 450.00
抗压强度(MPA) 45.00
杨氏弹性模量(Gpa) 300-380
热膨胀系数(20-1000℃)(10-6/K) 6~8
热导率(W/m·k) 30.00
介电强度(kv/mm) 18.00
介电常数 9~10
介电损耗角 (*10-4) 2.00
表面粗糙度 <Ra0.05um

 

四极子陶瓷环 优点:

 

  • 确保四极磁体组件内的准确对准和定位。
  • 防止磁场受到电气干扰。
  • 确保耐用性和使用寿命。
  • 确保对粒子束的精确控制。
  • 低排气率,使其适用于高真空环境,例如粒子加速器中的环境。

 

定制服务为客户提供了高度灵活的设计,以满足特定的技术和商业需求,如果您需要任何四极陶瓷环或其他与陶瓷组件相关的质谱仪器,欢迎通过 sales@innovacera.com 与我们联系。


氮化铝陶瓷在晶圆盖板加热器应用中的优势

在半导体制造过程中,氮化铝陶瓷晶圆盖板是承载晶圆的关键部件,其性能的好坏直接影响晶圆的质量和加工效率。

氮化铝陶瓷(Aluminum Nitride Ceramic)是一种具有优异导热性、电绝缘性和力学性能的新型陶瓷材料。其导热系数可达320W/m·K,是氧化铝陶瓷的10倍以上,电绝缘性可达10^13Ω·cm以上,抗弯强度可达350MPa以上。这些优异的性能使得氮化铝陶瓷在半导体制造领域有着广泛的应用前景。

 

https://www.innovacera.com/product/hot-pressed-aluminum-nitride

 

氮化铝陶瓷在晶圆盖板应用中的优势

 

  1. 高导热性

 

在半导体制程中,晶圆需要在高温环境下进行加工,如光刻、蚀刻、离子注入等工艺。氮化铝陶瓷的高导热性可保证晶圆在短时间内达到工艺所需的温度,提高生产效率;同时高导热性也有助于晶圆温度均匀化,降低热应力,提高晶圆品质。

 

  1. 散热性能优异

 

在晶圆加工过程中,有些工艺会产生大量热量,如激光蚀刻、等离子蚀刻等。氮化铝陶瓷优异的散热性能可迅速将热量传导至环境中,防止晶圆温度过高,降低热损伤风险,提高晶圆加工品质。

 

  1. 电绝缘性高

 

在半导体制程中,晶圆表面会涂上光刻胶、减反射层等导电材料,氮化铝陶瓷的高电绝缘性可有效防止晶圆表面与托盘间电荷累积,避免放电,提高晶圆处理品质。

 

  1. 机械性能良好

 

氮化铝陶瓷具有较高的抗弯强度与硬度,可保证晶圆盘在运输、装载过程中不易磨损、开裂,提高晶圆盘使用寿命。另外,氮化铝陶瓷的线膨胀系数与硅晶圆相近,有利于减小热应力,降低晶圆翘曲风险。

 

  1. 耐腐蚀

 

在半导体制程中,晶圆盖板会接触各种化学试剂,如光刻胶、蚀刻液等,氮化铝陶瓷具有良好的耐腐蚀性,可以抵抗这些化学试剂的侵蚀,保证晶圆盖板的稳定性和使用寿命。

 

  1. 无污染

 

氮化铝陶瓷具有良好的化学稳定性,不会与晶圆表面的材料发生反应,避免了杂质的产生,保证了晶圆加工的质量。同时氮化铝陶瓷的生产过程更加环保,有利于降低半导体制造业整体的碳排放。

 

氮化铝陶瓷在晶圆盖板加热器中的应用

 

 

氮化铝陶瓷作为晶圆盖板材料,具有导热系数高、散热性能好、电绝缘性高、机械性能好、耐腐蚀、无污染等优点。在半导体制造领域,氮化铝陶瓷晶圆盖板的应用可以提高生产效率、降低成本、改善水质,具有重要的实际意义。Innovacera 可以提供两种类型的氮化铝陶瓷,一种是氮化铝,另一种是热压氮化铝inum氮化物,主要区别在于纯度,热压ALN纯度高于ALN,导热系数也不同。

 

如果您对氮化铝陶瓷有任何疑问,欢迎联系我们sales@innovacera.com。


卧式球磨机和行星球磨机设备有什么区别

氧化锆陶瓷球磨罐是各类研磨、混合物料设备中的一种。在各类球磨罐中,卧式球磨机设备使用较多,现在我们来探讨一下这两种球磨机设备的区别,以便您选择合适的设备进行相关应用。

 

行星砂磨机设备

 

行星球磨机是一种高效的球磨机设备,它的研磨原理是将研磨罐看作一个行星,通过行星与研磨球的相互作用,研磨球在罐内高速运动,并与样品或磨料发生摩擦、碰撞,达到研磨的目的。行星球磨机适用于高纯材料制备细胞破碎等领域,其最大的优点是研磨效率高,研磨粒度可调。

 

Planetary Ball Mills

 

H卧式砂磨机设备

 

卧式砂磨机设备是一种滚筒式砂磨机,是一种常见的研磨设备,研磨原理是将磨料和样品放入砂磨机槽中,然后通过研磨盘的旋转将磨料和样品混合研磨,达到砂磨的目的。卧式砂磨机适用于颜料、油漆、涂料、制药、食品等领域。与行星球磨机相比,卧式砂磨机可以研磨较硬的物料,但研磨效率较低,研磨粒度不易调整。

Horizo​​ntal Ball Mills

 

卧式球磨机与行星球磨机的区别

  1. 工作原理:行星球磨机是通过行星与研磨球的相互作用进行研磨,而卧式砂磨机是通过研磨盘的旋转进行研磨。
  1. 应用领域:行星球磨机适用于高纯材料制备、细胞破碎等领域;卧式砂磨机适用于颜料、涂料、油漆、医药、食品等领域。
  1. 研磨效率:行星球磨机研磨效率高,研磨粒度可调;卧式砂磨机研磨效率低,研磨粒度不易调节。

 

综上所述,行星球磨机和卧式砂磨机的应用领域、工作原理、研磨效率等都有很大的区别,在选择研磨设备时,要根据具体的研磨需求来选择。如需了解更多有关陶瓷研磨球罐的详细信息,欢迎联系我们 sales@innovacera.com。


集成PT1000温度传感器的MCH加热器适用于烙铁工具

在焊接领域,我们使用的工具对于实现精确和高效的结果至关重要。对烙铁性能有重大贡献的一个关键组件是加热元件。现代烙铁通常使用先进的加热技术,如MCH(金属陶瓷加热器),以确保快速加热时间、温度稳定性和能源效率。让我们探索什么是 MCH 加热器以及它们如何增强烙铁工具。

烙铁

什么是 MCH 加热器

MCH 加热器是一种陶瓷加热元件,用于各种应用,包括烙铁。它是指将钨或钼锰糊料印刷在陶瓷铸体上,通过热压层压,然后在 1600°C 的氢气气氛下共烧,使陶瓷和金属共烧结的陶瓷加热元件。这种陶瓷成分使 MCH 加热器具有出色的热性能和耐用性。

 

MCH 加热器的主要优势在于它们对电输入变化的快速响应,从而能够精确控制烙铁头的温度。与传统的加热元件(例如铜或镍基线圈)不同,MCH 加热器可以更均匀、更有效地分配热量,从而提高导热率并节省能源。

 

INNOVACERA 110V 氧化铝陶瓷加热器,用于电子烙铁

 

MCH 加热器对烙铁的好处

 

加热时间快:MCH 加热器由于热质量低,加热速度快,减少了开始焊接前的等待时间。

 

温度稳定性:这些加热器具有出色的温度控制和稳定性,即使长时间使用也能保持一致的热量水平。

 

能源效率:MCH 加热器在将电能转化为热能方面非常高效,可最大限度地减少能源浪费并降低运营成本。

 

均匀加热:整个陶瓷表面的均匀热量分布可确保焊接头均匀达到并保持所需温度。

 

紧凑设计:MCH 加热器结构紧凑、重量轻,有助于现代烙铁的整体人体工程学设计。

 

MCH 加热器在烙铁工具中的工作原理

 

在配备 MCH 加热器的烙铁中,电流流过陶瓷加热元件。陶瓷材料迅速升温并将热量传递给通常由铜或其他导电材料制成的烙铁头。MCH 加热器的高效传热机制可确保烙铁头迅速达到所需温度并持续保持该温度。

 

MCH 加热器的温度可以通过集成在烙铁中的恒温器或电子控制系统来控制。这样,用户就可以设置适合不同焊接任务的精确温度水平,从精密的电子工作到重型焊接工作。

 

PT1000 温度传感器也可以集成到 MCH 加热器中,以帮助测试温度并使设计更紧凑。请参见下面的加热器图纸和图片。

 

PT1000 温度传感器集成在 MCH 加热器中

PT1000 温度传感器集成在 MCH 加热器中

 

结论

MCH 加热器通过提供快速加热、精确温度控制和节能,彻底改变了烙铁的性能。这些先进的加热元件使焊接专业人员和业余爱好者能够更准确、更有效地工作。随着技术的不断发展,我们可以期待焊接工具在 MCH 等加热技术创新的推动下得到进一步改进。

 

如果您对 MCH 加热器有任何疑问,欢迎通过 sales@innovacera.com 与我们联系。


英诺华参加国外展会

Innovacera 是半导体和电子行业先进陶瓷元件和解决方案的领先供应商,很高兴宣布其将参加国外展会,这是半导体和微电子行业的重要活动之一。

 

工程技术陶瓷因其高温稳定性、电绝缘性、耐腐蚀性和优异的机械性能而被广泛应用于半导体制造工艺。INNOVACERA 超纯陶瓷用于整个半导体制造过程,包括晶圆制造、器件制造和封装。随着半导体行业的持续快速发展,展会为行业利益相关者提供了一个重要的机会,让他们能够领先于技术进步和市场趋势。无论您是行业资深人士还是新手,此次活动都提供了无与伦比的机会来获得见解、与同行建立联系并探索半导体格局的未来。此次活动对于推动半导体生态系统的增长和发展至关重要。有关 Innovacera 产品和展览安排的更多信息,欢迎联系我们sales@innovacera.com。

 

Innovacera 正在展示其在半导体行业技术陶瓷解决方案方面的最新进展。与会者可以参观我们的展位 3928,我们将在那里展示:

 

  • 陶瓷-金属密封产品:包括金属化陶瓷、AMB、DPC 和 DBC 基板,广泛应用于电气封装工艺、大功率半导体封装、半导体冷却和 UPS 不间断电源、光伏、高速铁路、新能源汽车、高压网络和通信。

 

  • 氮化硼部件:是各种高科技应用的必备材料,包括真空高温设备的电极绝缘、PVD/CVD真空镀膜设备绝缘配件、离子镀膜机、溅射镀膜、半导体MOCVD设备的绝缘散热、离子注入机绝缘配件、PBN VGF坩埚、LEC坩埚、MBE坩埚、PBN陶瓷舟等。这些BN陶瓷具有耐高温达2000℃、抗热震性、高电击穿强度(是氧化铝的3-4倍)、耐碳气氛腐蚀性优于氧化铝等显著优点。此外,它们还具有电阻大、耐高温、耐电击穿性高、无污染、耐腐蚀、可加工等特点,是要求苛刻的工业环境的理想选择。

 

  • 高纯度氧化铝陶瓷部件:例如氧化铝抛光盘和转盘,它们具有抛光表面和高精度平整度、高刚性、高化学耐久性和超大尺寸等优势。
INNOVACERA ATTEND THE SEMICON SEA 2024 EXHIBITION

INNOVACERA ATTEND THE SEMICON SEA 2024展览

工程技术陶瓷因其高温稳定性、电绝缘性、耐腐蚀性和优异的机械性能而被广泛应用于半导体制造工艺。INNOVACERA 超纯陶瓷用于整个半导体制造过程,包括晶圆制造、器件制造和封装。

 

随着半导体行业继续快速发展,展会为行业利益相关者提供了一个重要的机会,让他们能够领先于技术进步和市场趋势。无论您是行业资深人士还是新手,此次活动都提供了无与伦比的机会来获得见解、与同行建立联系并探索半导体格局的未来。该活动对于推动半导体生态系统的增长和发展至关重要。

 

有关 Innovacera 产品和安排的展览的更多信息,欢迎通过 sales@innovacera.com 与我们联系。


氮化硼陶瓷革命性地改变了PVD涂层技术

氮化硼陶瓷 (BN) 用途广泛,是先进材料中多功能高性能化合物的佼佼者。氮化硼具有低热膨胀、优异的耐热性、出色的电绝缘性和对熔融金属的高耐湿性,已进入电子、高温炉建造、陶瓷制造、半导体工业、航空航天等各个行业,现在又进入了物理气相沉积 (PVD) 涂层技术领域。

 

氮化硼陶瓷 (BN) 革命性 PVD ​​涂层技术

 

PVD 涂层是一种通过在真空环境中蒸发和冷凝材料在各种基材上产生薄膜或涂层的工艺。该技术广泛应用于汽车和光学行业,其中金属、陶瓷或其他材料的薄膜沉积在表面上以增强其耐磨性、耐腐蚀性或美观性等性能。

 

氮化硼陶瓷已成为 PVD ​​涂层领域的革命性产品,与传统涂层材料相比,它具有多种优势:
高热稳定性
化学惰性
优异的润滑性能
均匀的涂层沉积

 

氮化硼陶瓷 (BN) 革命性 PVD ​​涂层技术

 

增强的安全性和环境可持续性:与一些可能对健康或环境造成风险的传统涂层材料不同,BN 陶瓷无毒且环保。氮化硼陶瓷在 PVD ​​涂层机中的使用有助于为操作员提供更安全的工作环境,并减少涂层工艺对环境的影响。此外,BN 陶瓷组件的耐用性和使用寿命可减少维护和更换的频率,从而进一步增强 PVD ​​涂层操作的可持续性。

 

氮化硼陶瓷代表了 PVD ​​涂层技术领域的重大进步,具有无与伦比的热稳定性、化学惰性、润滑性能和涂层均匀性。通过在 PVD ​​涂层机中使用氮化硼陶瓷组件,制造商可以提高操作效率、提高涂层质量并确保其工艺的安全性和可持续性。随着各行各业对高性能薄膜的需求不断增长,氮化硼陶瓷有望在塑造 PVD ​​涂层技术的未来中发挥关键作用。


氮化硼陶瓷喷嘴3D打印金属雾化粉末喷嘴

近年来,粉末冶金(MIM)和3D打印(AM)技术飞速发展,在生产复杂零件方面得到越来越多的应用。金属3D打印技术的原料是球形度高、粒度分布窄的金属粉末。这种粉末生产方法将金属合金熔化后通过氮化硼喷嘴喷出,在喷嘴出口处利用高压气流将金属液雾化,同时冷却成球形颗粒。

 

氮化硼陶瓷喷嘴 3D打印用金属雾化粉末喷嘴

 

3D打印与注塑成型的区别在于3D打印不需要模具,更有利于复杂部件的生产。同时由于没有模具的限制和辅助作用,生产过程更多的依赖于打印设备的性能和粉末原料。氮化硼喷嘴是决定成品质量的关键部件。与传统黄铜喷嘴相比,氮化硼的耐高温、抗热震、精加工能力和抗金属液体腐蚀性能使其能够承受高热梯度,促进金属快速凝固。此外,不同配方的复合氮化硼陶瓷可以提供高温耐久性、抗冲击性、导电性、电阻性等各种性能,为客户提供定制化解决方案。

 

综上所述,氮化硼的稳定性、耐高温性和精密加工能力使其成为生产高质量金属粉末和实现精密打印的理想选择。


陶瓷转金属技术有何突破

钼/锰金属化发展了陶瓷-金属钎焊组件技术,它提供了高机械强度和良好的电绝缘性。它最初用于真空电子设备,逐渐应用于半导体、集成电路、电光源、高能物理、航空航天、化工、冶金、仪器仪表和机械制造等工业领域。

 

因此,如何选择材料对于良好的真空钎焊变得越来越关键。这里我们主要讨论陶瓷-金属将使用的三种不同类型的材料。

  1. 陶瓷
  • Al2O3
  • 氧化铍
  • BN
  • 氮化铝

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  • 梅塔拉
  • 可伐合金
  • OFC
  • 不锈钢
  • 低碳钢

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  • 焊接
  • 银铜
  • AU-Cu
  • 金镍

 

陶瓷材料需要高温稳定性和良好的热膨胀系数,INNOVACERA 主要采用 Al2O3。由于陶瓷不会直接润湿,这会阻碍熔融金属层和粘合剂的粘附,再加上陶瓷和金属之间的热膨胀系数 (CTE) 不同。解决此类困难的方法是使用焊接或钎焊工艺。

 

通过 Mo/Mn 金属化 和电镀或活性钎焊在陶瓷部件上施加金属层,之后,通过熔化并随后凝固填充金属焊料将陶瓷和金属部件连接在一起,不同的焊料适用于不同的工作温度和不同的应用。

 

Ceramic to Metal

 

陶瓷-金属连接的优势是什么?

先进陶瓷材料不仅具有高熔点、耐高温、耐腐蚀、耐磨等特殊性能,还具有耐辐射、耐高频、耐高压、绝缘等优良电性能,随着科技的飞速发展,工程结构领域的应用往往需要将先进陶瓷材料与金属材料结合起来,使两种材料的优势互补,发挥陶瓷的最佳性能。通过实现陶瓷与金属的钎焊结合,提高其焊接接头的性能,可以使其在更高的温度和恶劣的环境下工作,取得更广泛的应用前景!


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