氮化铝陶瓷 (AlN) 是一种特殊的陶瓷材料,兼具高导热性和高电阻率。只有少数陶瓷具有高导热性:例如氧化铍 (BeO) 和立方氮化硼 (c-BN) 几乎是唯一的其他例子。然而,由于 BeO 粉末的毒性,其使用受到限制,而 c-BN 很难生产。
此外,该材料适合用厚膜和薄膜技术进行进一步加工,氮化铝是电信技术应用的理想材料。
因此,氮化铝陶瓷被用作半导体的基板,以及大功率电子零件、外壳和散热器。
氮化铝陶瓷 (AlN) 是一种特殊的陶瓷材料,兼具高导热性和高电阻率。只有少数陶瓷具有高导热性:例如氧化铍 (BeO) 和立方氮化硼 (c-BN) 几乎是唯一的其他例子。然而,由于 BeO 粉末的毒性,其使用受到限制,而 c-BN 很难生产。
此外,该材料适合用厚膜和薄膜技术进行进一步加工,氮化铝是电信技术应用的理想材料。
因此,氮化铝陶瓷被用作半导体的基板,以及大功率电子零件、外壳和散热器。
Innovacera 的金属化陶瓷环用于夜视设备和其他仪器的图像增强管。
氧化铝陶瓷聚焦环旨在改善晶圆边缘或周边的蚀刻均匀性。与静电吸盘 (e-chuck) 配合使用时,晶圆将放置在边缘聚焦环上,并由静电电荷固定。
Innovacera (英诺华)的 BMA 氮化硼复合喷嘴在熔融金属雾化中具有卓越的精度和可靠性,因此 Innovacera BMA 氮化硼喷嘴可实现熔融金属的精确雾化。通过氧化锆增强,它们具有出色的耐磨性和非润湿性,可承受直接接触金属的极端温度。