什么是氮化硼？
六方氮化硼 (h-BN) 陶瓷具有与石墨相似的微观结构。它通过在高达 2000°C 的高温和高压下热压氮化硼粉末制成。最大毛坯尺寸为 500 × 500 × 200 毫米，并且可以进一步加工成复杂的形状。
为什么氮化硼陶瓷可以用于离子注入机？
离子注入是半导体制造中的一个关键工艺，在该工艺中，晶圆会被掺杂外来原子，以改变材料的导电性和晶体结构等特性。
大电流引出电极是离子注入系统的核心。它必须承受高达 1400°C 的高温、强电磁场、腐蚀性工艺气体和高机械力。
因此，由氮化硼绝缘体陶瓷制成的组件有助于确保该工艺保持高效、精确且无杂质。
INNOVACERA 氮化硼陶瓷兼具卓越的热学、物理和化学特性，使其成为解决绝缘体应用中关键挑战的理想选择。
氮化硼材料的优势
非润湿性
高电阻率
高导热性
优异的机械加工性
良好的化学惰性
耐高温
高介电击穿强度
优异的抗热震性
优异的润滑性能（低摩擦系数）
INNOVACERA 氮化硼陶瓷牌号
了解更多关于我们的粘结牌号 HB（BN 含量超过 90%）、最高纯度（BN 含量超过 99.7%）的 UHB 牌号，以及我们的复合牌号 BMS、BMA、BSC、BMZ、BAN 和 BSN。
| 属性 | 单位 | UHB | HB | BC | BMS | BMA | BSC | BMZ | BAN | BSN |
| 主页成分 | – | BN>99.7% | BN>99% | BN>97.5% | BN+SiO2 | BN+Al2O3 | BN+SiC | BN+ZrO2 | BN+AlN | BN+Si3N4 |
| 颜色 | – | 白色 | 白色 | 白色 | 白色石墨 | 白色石墨 | 灰绿色 | 白色石墨 | 灰绿色 | 灰黑色 |
| 密度 | g/cm3 | 1.6 | 2 | 2.0~2.1 | 2.2~2.3 | 2.25~2.35 | 2.4~2.5 | 2.8~2.9 | 2.8~2.9 | 2.2~2.3 |
| 三点弯曲强度 | MPa | 18 | 35 | 35 | 65 | 65 | 80 | 90 | 90 | / |
| 抗压强度强度 | MPa | 45 | 85 | 70 | 145 | 145 | 175 | 220 | 220 | 400~500 |
| 热电导率 | W/(m·k) | 35 | 40 | 32 | 35 | 35 | 45 | 30 | 85 | 20~22 |
| 热膨胀系数(20~1000°C) | 10-6/K | 1.5 | 1.8 | 1.6 | 2 | 2 | 2.8 | 3.5 | 2.8 | / |
| 最高使用温度
大气中 惰性气体中 高真空中 （长时间） |
摄氏度 | 900
2100 1800 |
900
2100 1800 |
900
2100 1900 |
900
1750 1750 |
900
1 750 1750 |
900
1800 1800 |
900
1800 1800 |
900
1750 1750 |
900
1750 1700 |
| 房间高温电阻率 | Ω·cm | >1014 | >1014 | >1013 | >1013 | >1013 | >1012 | >1012 | >1013 | / |
| 典型应用 | – | 氮化物烧结 | 高温炉 | 高温炉 | 粉末冶金 | 粉末冶金 | 粉末冶金 | 金属铸造 | 粉末冶金 | 金属铸造 |
氮化硼组件的包装
由于氮化硼易碎，通常采用真空密封的塑料袋包装，并用厚泡沫垫衬，最后装入纸箱，以防止运输过程中损坏。我们可根据要求提供特殊包装安排。st.
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INNOVACERA 提供广泛的氮化硼材料和解决方案。如果您正在为您的应用寻找氮化硼绝缘子解决方案，请联系我们，了解更多关于我们全系列产品的信息以及我们如何满足您的需求。
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