适用于真空和高温应用的高性能陶瓷金属密封电极
我们为高要求环境定制生产陶瓷电极和真空陶瓷馈通组件,提供卓越的耐高温性能、真空完整性和可靠的电气绝缘。
典型的多针真空陶瓷电极组件具有以下特点:
– 高温绝缘陶瓷本体
– SUS304 不锈钢法兰
– 多电极配置(4-5 针,可定制)
– O 型圈密封槽设计
– 精密加工的安装接口
– 绝缘不锈钢螺柱和螺母
此类产品广泛应用于:
– 真空炉
– 半导体加工设备
– 分析仪器
– 等离子体系统
– 高温反应器
– 电源馈通系统
我们的核心制造能力
先进陶瓷加工
我们生产具有以下特性的高纯度氧化铝绝缘陶瓷:
– 优异的介电强度
– 400°C 以上长期热稳定性
– 可在高真空下运行(≤100 Pa 或根据要求提供更低的真空度)
– 强大的抗热循环能力
可选陶瓷材料:
– 95%–99.7% 氧化铝
– 可根据要求定制陶瓷牌号
精密金属部件
– SUS304 / SUS316 不锈钢法兰
– CNC 精密加工
– 真空密封接口的严格尺寸控制
– 符合国际标准的 O 型圈槽加工
– 针对真空应用定制的表面处理

陶瓷金属密封技术
我们提供:
– 主动钎焊
– 金属化+钎焊
– 气密密封解决方案
主要特性:
– 螺柱与法兰之间可靠的电气绝缘
– 绝缘电阻≥10 MΩ
– 可控钎焊工艺,确保稳定的连接强度
– 优化的热膨胀系数匹配
真空及泄漏测试能力
每个组件均可根据客户要求进行测试:
– 氦气泄漏测试
– 电气绝缘测试
– 耐压测试
– 尺寸检验
– 功能电流测试(典型范围 1A–10A,最高 220V 或可定制)
根据设计,泄漏率目标可达到高真空标准。
定制多引脚配置
我们支持:
– 2-12 引脚直通结构
– M3 / M4 / M6 螺纹螺柱
– 定制法兰直径
– 定制螺栓圆弧排列方式
– 大电流直通设计
设计灵活性允许客户修改:
– 引脚数量
– 绝缘结构
– 密封方式
– 电气性能参数
工程支持与快速开发
我们的工程团队可以协助您:
– 图纸优化以提高可制造性
– 热应力分析
– 真空兼容性评估
– 成本降低方案
– 快速原型制作以进行验证
我们与遍布欧洲、北美和亚洲的 OEM 客户紧密合作,为工业设备制造商提供可靠的长期供应解决方案。
为什么选择我们
– 强大的陶瓷材料技术
– 稳定的钎焊质量控制
– 灵活的定制方案
– 真空测试验证的可靠性
– 极具竞争力的成本结构
– 快速响应的工程沟通
我们不仅生产零件,更提供可靠的真空绝缘解决方案。




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