technical ceramic solutions

用于真空和高温应用的高性能陶瓷-金属密封电极

适用于真空和高温应用的高性能陶瓷金属密封电极

我们为高要求环境定制生产陶瓷电极和真空陶瓷馈通组件,提供卓越的耐高温性能、真空完整性和可靠的电气绝缘。

 

典型的多针真空陶瓷电极组件具有以下特点:

– 高温绝缘陶瓷本体

– SUS304 不锈钢法兰

– 多电极配置(4-5 针,可定制)

– O 型圈密封槽设计

– 精密加工的安装接口

– 绝缘不锈钢螺柱和螺母

 

此类产品广泛应用于:

– 真空炉

– 半导体加工设备

– 分析仪器

– 等离子体系统

– 高温反应器

– 电源馈通系统

 

我们的核心制造能力

先进陶瓷加工

我们生产具有以下特性的高纯度氧化铝绝缘陶瓷:

– 优异的介电强度

– 400°C 以上长期热稳定性

– 可在高真空下运行(≤100 Pa 或根据要求提供更低的真空度)

– 强大的抗热循环能力

 

可选陶瓷材料:

– 95%–99.7% 氧化铝

– 可根据要求定制陶瓷牌号

 

精密金属部件

– SUS304 / SUS316 不锈钢法兰

– CNC 精密加工

– 真空密封接口的严格尺寸控制

– 符合国际标准的 O 型圈槽加工

– 针对真空应用定制的表面处理

用于真空和高温应用的高性能陶瓷金属馈通装置

 

陶瓷金属密封技术

我们提供:

– 主动钎焊

– 金属化+钎焊

– 气密密封解决方案

 

主要特性:

– 螺柱与法兰之间可靠的电气绝缘

– 绝缘电阻≥10 MΩ

– 可控钎焊工艺,确保稳定的连接强度

– 优化的热膨胀系数匹配

真空及泄漏测试能力

每个组件均可根据客户要求进行测试:

– 氦气泄漏测试

– 电气绝缘测试

– 耐压测试

– 尺寸检验

– 功能电流测试(典型范围 1A–10A,最高 220V 或可定制)

根据设计,泄漏率目标可达到高真空标准。

定制多引脚配置

我们支持:

– 2-12 引脚直通结构

– M3 / M4 / M6 螺纹螺柱

– 定制法兰直径

– 定制螺栓圆弧排列方式

– 大电流直通设计

 

设计灵活性允许客户修改:

– 引脚数量

– 绝缘结构

– 密封方式

– 电气性能参数

 

工程支持与快速开发

我们的工程团队可以协助您:

– 图纸优化以提高可制造性

– 热应力分析

– 真空兼容性评估

– 成本降低方案

– 快速原型制作以进行验证

 

我们与遍布欧洲、北美和亚洲的 OEM 客户紧密合作,为工业设备制造商提供可靠的长期供应解决方案。

 

为什么选择我们

– 强大的陶瓷材料技术

– 稳定的钎焊质量控制

– 灵活的定制方案

– 真空测试验证的可靠性

– 极具竞争力的成本结构

– 快速响应的工程沟通

 

我们不仅生产零件,更提供可靠的真空绝缘解决方案。


FAQ

我们的高性能陶瓷金属密封电极专为严苛环境而设计,广泛应用于真空炉、半导体加工设备、分析仪器、等离子体系统、高温反应器和电源馈通系统。我们与遍布欧洲、北美和亚洲的原始设备制造商 (OEM) 紧密合作,提供可靠的长期供货解决方案。我们的专家工程团队为国际客户提供全面的定制支持,包括图纸优化以提高可制造性、热应力分析、真空兼容性评估、成本降低方案以及快速原型制作以进行快速验证。

我们提供高度灵活的设计修改方案,支持 2 至 12 针直通结构、M3/M4/M6 螺纹螺柱以及 CNC 加工的 SUS304/SUS316 不锈钢法兰上的定制螺栓孔位。电气参数也可定制,支持 1A 至 10A 的典型工作电流,以及高达 220V 的高电流直通设计电压。在性能方面,组件采用 95% 至 99.7% 高纯度氧化铝陶瓷,并运用活性钎焊和金属化技术,以保持 ≥10 MΩ 的绝缘电阻。其设计旨在提供 400°C 以上的长期热稳定性,并具有强大的抗热循环能力,且在高真空条件(≤100 Pa,可根据要求通过氦气泄漏测试验证更高标准)下保持气密性。

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