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半导体用高纯度PBN垫圈

PBN垫圈

热解氮化硼也称为PBN。它也具有与热压氮化硼陶瓷相同的六方晶体结构,但生产工艺不同。PBN采用化学气相沉积(CVD)生产,无需经过传统的热压烧结工艺。纯度高达99.99%。得益于高纯度、良好的热稳定性和化学惰性,PBN陶瓷适用于半导体元件或真空系统。广泛应用于制作化合物半导体(如GaAs、InP等)单晶生长用陶瓷坩埚、分子束外延用坩埚、OLED用坩埚等。

PBN陶瓷的主要特性

  • 导热性好
  • 绝缘电阻高
  • 在宽温度范围内具有高介电强度。
  • 极纯
  • 不润湿
  • 无毒
  • 与大多数其他化合物无反应
  • 耐高温和快速冷却

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