热解氮化硼也称为PBN。它也具有与热压氮化硼陶瓷相同的六方晶体结构，但生产工艺不同。PBN采用化学气相沉积（CVD）生产，无需经过传统的热压烧结工艺。纯度高达99.99%。得益于高纯度、良好的热稳定性和化学惰性，PBN陶瓷适用于半导体元件或真空系统。广泛应用于制作化合物半导体（如GaAs、InP等）单晶生长用陶瓷坩埚、分子束外延用坩埚、OLED用坩埚等。
PBN陶瓷的主要特性
- 导热性好
- 绝缘电阻高
- 在宽温度范围内具有高介电强度。
- 极纯
- 不润湿
- 无毒
- 与大多数其他化合物无反应
- 耐高温和快速冷却
氮化硼陶瓷如何满足先进CVD、PVD和MOCVD工艺的材料需求
随着半导体制造工艺不断向更高温度、更高纯度和更复杂的等离子体环境发展，设备内部材料的稳定性和洁净度正成为影响良率和设备寿命的关键因素。在此背景下，氮化硼 (BN) 和热解氮化硼 (PBN) 陶瓷材料的应用正逐渐从传统的耐高温部件扩展到整个工…
