半导体用高纯度PBN垫圈

热解氮化硼也称为PBN。它也具有与热压氮化硼陶瓷相同的六方晶体结构，但生产工艺不同。PBN采用化学气相沉积（CVD）生产，无需经过传统的热压烧结工艺。纯度高达99.99%。得益于高纯度、良好的热稳定性和化学惰性，PBN陶瓷适用于半导体元件或真空系统。广泛应用于制作化合物半导体（如GaAs、InP等）单晶生长用陶瓷坩埚、分子束外延用坩埚、OLED用坩埚等。

PBN陶瓷的主要特性

• 导热性好
• 绝缘电阻高
• 在宽温度范围内具有高介电强度。
• 极纯
• 不润湿
• 无毒
• 与大多数其他化合物无反应
• 耐高温和快速冷却