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用于烧结氮化物陶瓷的陶瓷氮化硼烧结器

氮化硼烧结器

氮化硼纯度高、不粘、使用寿命长,是烧结氮化铝氮化硅基板的良好选​​择。而且它不会对烧结过程造成污染。

六方氮化硼具有较低的膨胀系数和较高的热导率,因此具有优异的抗热震性,在2000℃下循环使用数百次也不会损坏。BN的膨胀系数与石英相当,但热导率却是石英的10倍。

氮化硼的特点:

  • 纯度高,99.7%
  • 量产时质量稳定
  • 高温下不变形
  • 最高工作温度超过2100℃
  • 耐高热冲击

所有这些特点使得氮化硼成为烧结领域非常好的材料。我们的氮化硼是 Denka NB-1000 的替代品。

选择我们的优势:

  • 价格有竞争力
  • 交货时间短(20-35 天)
  • 质量稳定
  • 根据客户对质量的反馈快速进行调整。
  • 我们可以制作的最大尺寸:1400x400x100 毫米

AIN晶圆 – 最受欢迎的陶瓷基板之一

氮化铝陶瓷基板

INNOVACERA 提供AlN 陶瓷基板。AlN 基板是最受欢迎的陶瓷基板之一,具有优异的耐热性、高机械强度、耐磨性和较小的介电损耗。AlN 基板的表面非常光滑,孔隙率低。氮化铝具有更高的热导率,与氧化铝基板相比,大约高 7 到 8 倍。AlN 基板是一种出色的电子封装材料。

INNOVACERA 提供适用于各种应用的 AlN 基板,包括薄膜和厚膜微电子、高功率和高频电路射频/微波元件以及电容器或电阻器,请联系我们获取更多陶瓷晶片产品信息。

AlN 晶圆特性:

化学式 AlN
颜色 灰色
密度 3.3 g/cm3
热导率 160 ~ 190 W/m.K
热膨胀 (x10 -6/°C) 2-3.5
介电常数强度 ≥17KV/MM
介电常数(1MHZ 时) 8-10
损耗角正切(x10 -4 @1MHZ) 2.0
体积电阻率 ≥10^14 ohm-cm

AlN 晶圆特性:

直径 Ø 16 / Ø 20 / Ø 30 / Ø40 / Ø 50 / Ø 60 / Ø 75 / Ø 80
方形尺寸 2″x 2″ / 3″ x 3″ / 4″ x 4″ / 4.5″ x 4.5″
厚度 0.385 mm / 0.5 mm /0.635mm/ 1 mm
表面 烧成状态
单面抛光 / 双面抛光
粗糙度 Ra 0.3-0.5 um

氮化硼陶瓷坩埚

BN Crucible Hearth Liner

氮化硼的突出特点>

  • 热膨胀系数好,抗热震性好。
    导热系数是石英的10倍,可降低因温度急剧变化而破裂的风险。所以即使经过20~1200℃多次循环也没有问题。
  • 氮化硼与酸、碱、玻璃、大部分金属均不发生反应,机械强度较低,仅略高于石墨,但在高温下没有荷重软化现象,可用一般金属加工机加工。适用于熔炼、蒸发金属坩埚、器皿、液态金属输送管道、铸钢模具等。

氮化硼坩埚的分类

  • PBN坩埚
    PBN坩埚无需经过传统的热压烧结工艺,也不需要添加任何烧结剂,纯度高(99.99%以上),真空下工作温度高达1800度,气氛保护下工作温度可达2100度(通常为氮气或氩气),多用于蒸发/分子束外延(MBE)/GaAs晶体生长。
  • 烧结BN坩埚
    烧结BN坩埚是以六方氮化硼与烧结助剂(Y2O3等)为原料,经成型后高温烧结而成。
    具有良好的耐热性、热稳定性、热导率、高温介电强度。因此能抵抗大部分熔融金属的侵蚀。
    烧结BN坩埚含有烧结助剂(1~6wt%),纯度不如PBN坩埚高。适合制作大尺寸坩埚。在氩气或氮气等惰性气体中使用最高温度为2800℃;在氧气中稳定性较差,只能在900℃以下使用。

氮化硼坩埚的应用

  • 作为半导体制造工艺等严格环境条件下使用的材料,非常合适。 Ⅴ族半导体:砷化镓、磷化镓、磷化铟。
  • 还可制作绝缘材料或各种加热器的玻璃器具、加热管套以及高温高频、高压散热材料。

Innovacera(英诺华)陶瓷快速成型服务,适用于 OEM 陶瓷零件

氮化硅 (Si3N4) 陶瓷

OEM 陶瓷部件的快速原型制作有助于减少等待时间并节省运行时间。对于一些研究和开发的项目,最终的部件可能会显示一些设计变化,否则如果需要,就意味着调整甚至报废工具,快速原型制作可以节省开发时间和项目成本。快速原型制作陶瓷组件还提供了一种以合理的成本和生产时间生产少量 OEM 部件的方法,可直接从您的 CAD 文件进行工作。

Innovacera 提供陶瓷快速成型服务,这可让您在投入昂贵的新工具之前验证新设计是否可行。

我们可以通过精密 CNC 加工中心根据您的 CAD 或 SolidWorks 设计文件处理您的陶瓷部件,从由我们专门开发的可加工氧化铝陶瓷氧化锆陶瓷氮化硅氮化铝氮化硼和可加工玻璃陶瓷材料制成的毛坯中切割出您的定制组件。Innovacera 通常备有毛坯库存,因此可以快速生产产品;这也使得设计变更能够快速周转,从而实现产品优化。

Innovacera 还提供从原型到小批量生产的一站式服务。 Innovacera 工厂拥有热压干燥、CIP、压装、陶瓷注塑、CNC 加工和其他工艺,以支持小批量生产。

陶瓷快速成型的应用受到工程陶瓷和传统陶瓷的进步的推动,因为传统陶瓷的复杂形状的制作方法有限。陶瓷具有许多出色的物理和化学性能,吸引了大量研究人员的关注,以寻找这种材料的新工业应用,例如用于半导体、激光、真空、分析、薄膜沉积设备部件、传感器部件和电绝缘体部件等的组件。


先进陶瓷厚膜金属化的优势

Metallized Ceramic

陶瓷金属化是一种在陶瓷表面沉积一层金属以提供可湿润表面以供后续钎焊的工艺。

INNOVACERA 将精密陶瓷部件金属化,用于电网管、真空断路器和类似应用。我们的金属化部件用于由我们的内部团队或其他钎焊供应商和 OEM 钎焊的关键组件。我们的金属化可与许多不同的陶瓷体形成牢固而牢固的结合,并且几乎普遍适用于陶瓷与金属的钎焊。

优点:
♦ 牢固、坚固的结合
♦ 最小的基材变形
♦ 普遍适用于陶瓷金属连接
♦ 加工速度快
♦ 涂层、厚度和密度均匀


为什么真空吸盘要使用微孔陶瓷

微孔陶瓷真空吸盘

真空吸盘用于半导体电子芯片(如晶圆)的减薄、切割、清洗、搬运等工序。为什么要选择微孔陶瓷真空吸盘

1、晶圆抛光清洗过程中,抛光液、水雾进入工作台面,造成腐蚀。而微孔陶瓷真空吸盘具有抗腐蚀性能。

2、微孔陶瓷真空吸盘不像橡胶或其他材质的真空吸盘那样,没有光、热、电磁等环境污染。而橡胶或其他材质的真空吸盘会直接与物品表面接触,所以非常容易磨损。

因此,多孔陶瓷具有耐高温和耐化学腐蚀、结构轻、电绝缘等特点,是真空吸盘的最佳选择。

3、微孔陶瓷以其特殊的多孔结构,孔洞非常小,可以加工成非常精密的平面度。结合特殊的气道设计,当给予一定的负压时,晶圆可以平稳稳定地吸附在真空吸盘上,避免晶圆在表面造成划痕和凹痕。
通过真空吸盘的聚焦点和吸力的配合,可以将不同尺寸的晶圆吸附在同一陶瓷表面上。

4、微孔陶瓷真空吸盘经过重新研磨后可重复使用,从而提高材料的利用率。

检测视频:


适用于高温炉应用的氮化硼陶瓷部件

氮化硼

氮化硼又称白石墨,结构与石墨相似,具有良好的电绝缘性、导热性、优异的抗热震性和化学稳定性。氮化硼陶瓷是将氮化硼粉末根据客户要求的尺寸规格,通过热压烧结加工成产品块。

工作温度明显高于1500°C的高温炉设计采用了由碳、钨制成的加热元件。通常,这些元件使用高温氧化物陶瓷与炉侧电绝缘。

在这一领域,我们可以提供精密加工的部件,例如管、垫圈、套管、绝缘子、绝缘板、线轴、法兰和其他承受高热应力的部件。


技术陶瓷元件在半导体行业中的应用

技术陶瓷部件是半导体制造设备不可或缺的一部分,技术陶瓷部件纯度高,微量金属含量低,这意味着它们可以构成 CVD、PVD、等离子蚀刻和离子注入的工艺室材料或内部工艺表面,其强介电性能非常有益,因此在半导体工业中得到广泛应用。

PBN MBE 坩埚半导体行业使用先进的技术陶瓷,包括氧化铝陶瓷 (AL2O3)、氮化铝 (ALN)、多孔陶瓷、氮化硼 (BN)、热解氮化硼 (PBN) 和碳化硅 (SiC)。 PBN主要用于金属氧化物(MOCVD)沉积工具中的坩埚,主要的单晶生长方法是LEC和VGF,因此需要PBN LEC和VGF坩埚。PBN分子束外延(MBE)坩埚是当今世界上最重要的III-V族和II-VI族半导体晶体外延生长工艺之一。PBN坩埚是该工艺中蒸发元素和合成材料的最佳容器。蒸发坩埚周围的PBN环用于OLED设备。

更多用于半导体行业的陶瓷零件如下:

用于 PVD ​​和 MOCVD 设备的氮化硼陶瓷绝缘体部件 多孔陶瓷真空吸盘 金属化陶瓷盘
用于 PVD ​​和 MOCVD 设备的氮化硼陶瓷绝缘体部件。 多孔陶瓷广泛用于真空卡盘。 用于 IC 封装的金属化陶瓷部件。

陶瓷晶圆机器人手臂陶瓷末端执行器氧化铝陶瓷和氮化铝通常用于室内部的静电卡盘。Innovacera 制造用于末端执行器的陶瓷晶圆(通常称为机器人的手),陶瓷末端执行器具有良好的刚度和高强度,因此机器人手臂可以更快地稳定到最终位置。末端执行器构成机器人手臂的末端,用于在位置之间处理和移动半导体晶圆。

陶瓷材料的选择取决于其将要暴露的沉积化学性质。例如,如果使用等离子,则必须使用至少99.5%的氧化铝。等离子耐腐蚀是半导体制造设备中部件的主要特性。

氮化铝陶瓷氮化铝(AlN)是一种共价键化合物,具有六方纤锌矿结构,晶格参数a=3.114和c=4.986。颜色通常为灰色,是典型的III-V宽带隙半导体材料。

氮化铝陶瓷具有强度高、体积电阻率高、绝缘耐压高、热膨胀系数大、与硅匹配性好等特点。它们非常适合半导体基板、陶瓷电子基板和结构封装材料。在电子行业的潜力巨大。

Innovacera是一家成立于2012年的先进陶瓷元件制造商,在陶瓷行业拥有丰富的经验,由优秀的团队严格控制产品质量和检验。我们提供超出现有产品的定制解决方案。我们热忱欢迎客户建立合作关系,与我们共创美好未来。

欲了解更多信息,请通过以下方式联系我们:

厦门英诺华先进材料有限公司
中国福建省厦门市火炬高新区嘉禾路588号6楼A座
电话:86-592-5589730
电子邮件:sales@innovacera.com
网站:www.innovacera.com

为什么电子烟应该使用陶瓷加热元件而不是金属线圈?

陶瓷加热元件

MCH(金属陶瓷加热器)是一种高效、环保、节能的先进陶瓷加热元件。如今陶瓷发热体被越来越多的应用以提高性能,如家用电热器具、汽车气氧传感器、医疗设备加热器等。

近年来,电子烟逐渐取代了传统香烟,电子烟使用的金属线圈也被陶瓷发热体取代,主要原因是:

  • 升温速度快,常温下10秒内可加热到200℃以上。
  • 热量分布均匀,绝缘性好,陶瓷表面安全不带电。
  • 加热时不会产生对人体有害的物质,本身不含铅、镉、汞、六价铬、多溴联苯、多溴二苯醚等有害物质。
  • 陶瓷材质,耐酸碱,耐腐蚀。
  • 使用寿命长寿命。

Innovacera生产的板状、棒状、管状陶瓷加热元件可广泛应用于不同类型的电子烟、医用雾化器等。鉴于各国对电子烟的监管越来越严格,使用陶瓷加热元件的优势越来越明显。

temperature vs time


用于高温高压设备的六方氮化硼电绝缘体

氮化硼陶瓷组件

六方氮化硼 (HBN) 也称为“白色石墨”,具有与石墨类似的(六方)晶体结构。这种晶体结构具有出色的润滑性能。它具有高导热性和良好的抗热冲击性,并且可以轻松加工成几乎任何形状的紧密公差。加工后,无需额外的热处理或烧制操作即可使用。

HBN 远优于石墨,具有以下特点:

  • 由于摩擦系数低(0.15 至 0.70),因此具有出色的润滑性能
  • 良好的化学惰性
  • 电绝缘体
  • 热导体(结果:更好的散热效果)
  • 高温稳定性,空气中为 1000°C,真空中为 1400°C,惰性气体中为 1800°C
  • 低热膨胀
  • 低介电常数
  • 高承载性能

应用:

  • BN 加热板 用于高温炉
  • 熔融玻璃和金属的坩埚
  • 高温和高压的电绝缘体
  • 真空馈通
  • 等离子室衬里和配件
  • 有色金属和合金的喷嘴
  • 热电偶保护管和护套
  • 激光支架

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